1. 測數控機床哪種萬用表適用
數控機床維修常用儀表:
(1)百分表。用於測量零件相互之間的平行度、軸線與導軌的平行度、軌的直線度、工作台檯面平面度以及主軸的端面圖跳動、頸向圖跳動和軸向竄動。
(2)杠桿百分表。用於受空間限制的工件。如內孔跳動鍵槽等,使用時應注意使測量運動方向與測頭中心成垂直,以免產生測量誤差。
(3)千分表及杠桿千分表。其工作原理與百分表和杠桿百分表一樣,只是分度值不同,常用於精密機床的修理中。
(4)比較儀。可分為扭簧比較儀與桿齒輪比較儀。尤其扭簧比較儀,特別適用於精度要求較高的跳動量的測量。
(5)水平儀。水平儀是機床製造和修理中最常用的測量儀器之一,它用來測量導軌在垂直面內的直線度,工作台檯面的平面度以及零件相互之間的垂直度、平行度等。水平儀按其工作原理可分為水準式水平儀和電子水平儀。水準式水平儀有條式水平儀、框式水平儀和合像水平儀三種結構形式。
(6)光學平直儀。在機械維修中,常用來檢查床身導軌在水平面內和垂直面內的直線度。檢驗用平板的平面度,是當前導軌直線度測量方法中較先進的儀器之一。
(7)經緯儀。經緯儀是機床精度檢查和維修中常用的一種高精度的儀器之一,常用於數控銑床和加工中心的水平轉台和萬能轉台的分度精度的精確測量,通常與平行光管組成光學系統來使用。
(8)交流電壓表。用於測量交流電源電壓,測量誤差應在±2%以內。
(9)直流電壓表。用來測量直流電源電壓,常見直流電壓表有磁電子電壓表、數字式直流電壓表和多量程數字直流電壓表。
(10)相序表。在維修晶閘管直流驅動裝置時,用於檢查電源的輸入相序。
(11)萬用表。萬用表是一種多功能、多量程的攜帶型電氣測量儀表,常用的萬用表有模擬式萬用表和數字式萬用表,萬用表一般能測直流電流、直流電壓、交流電壓、直流電阻,有的萬用表還能測交流電流、電容、電感及晶體三極體的hFE值。
(12)鉗形電流表。鉗形電流表通常為2.5級和5級,雖然其精確度稍低,但由於其不需切斷電路即能測量電流,因而應用非常廣泛。
(13)轉速表。常用於測量伺服電機的轉速,是檢查伺服調速系統的重要依據之一,常用的轉速表有離心式轉速表和數字式轉速表等。
2. 刀口直角檢測平面度與垂直度的原理與方法
直角檢測平面度與垂直度常用到杠桿百分表。杠桿百分表用於受空間限制的工件,如內孔跳動、鍵槽等。使用時應注意使測量運動方向與測頭中心成垂直,以免產生測量誤差。千分表及杠桿千分表千分表及杠桿千分表的工作原理與百分表和杠桿百分表一樣,只是分度值不同,常用於精密機床的修理。.比較儀比較儀可分為扭簧比較儀與杠桿齒輪比較儀。扭簧比較儀特別適用於精度要求較高的跳動量的測量。.水平儀水平儀是機床製造和修理中最常用的測量儀器之一,用來測量導軌在垂直面內的直線度、工作台檯面的平面度以及零件相互之間的垂直度、平行度等,水平儀按其工作原理可分為水準式水平儀和電子水平儀。水準式水平儀有條式水平儀、框式水平儀和合像水平儀種結構形式。.光學平直儀在機械維修中,常用來檢查床身導軌在水平面內和垂直面內的直線度、檢驗用平板的平面度,光學平直儀是當前導軌直線度測量方法中較先進的儀器之一。經緯儀 經緯儀是機床精度檢查和維修中常用的高精度的儀器之一,常用於數控銑床和加工中心的水平轉台和萬能轉台的分度精度的精確測量,通常與平行光管組成光學系統來使用。.轉速表轉速表常用於測量伺服電動機的轉速,是檢查伺服調速系統的重要依據之一,常用的轉速表有離心式轉速表和數字式轉速表等。常用的數控機床維修儀器在數控機床的故障檢測過程中,藉助一些必要的儀器是必要的,儀器能從定量分析角度直接反映故障點狀況,起到決定作用。
3. 杠桿齒輪比較儀的測量范圍是正負10絲,用mm怎麼表示
正負1毫米,一絲米=0.1毫米
4. 比較儀的機械式比較儀
和百分表和千分表、杠桿齒輪式測微儀或扭簧測微儀等機械式指示表作為放大、指示部件。杠桿齒輪式測微儀的工作原理與百分表和千分表相似。但第1級放大機構是杠桿,其分度值通常為1微米。扭簧測微儀是一種具有無機械摩擦放大機構的指示表(圖 [扭簧測微儀工作原理].它的主要放大元件是一根從中間起一端向右扭曲,另一端向左扭曲的金屬薄片(寬度為0.1毫米左右,厚度為0.005毫米左右),稱為扭簧絲。在它的中間粘有一根直徑約為0.06毫米的空心玻璃絲做的指針。當測桿上下移動時,可動支架把上下位移轉換為左右位移,使扭簧絲縮短或伸長,並帶動指針轉一個角度,從表盤上即可讀出測桿的位移量。扭簧測微儀的靈敏度很高,常見的分度值有1微米、0.5微米、0.2微米和0.1微米幾種,最高可達0.02微米。示值范圍一般為±50個分度值。機械式比較儀常用在車間和計量室測量工件外徑和厚度等。
5. 杠桿齒輪比較儀測量工件屬於什麼測量方法
通過「比較儀」的稱謂,可以判斷是間接測量方法。以前,間接測量法也叫比較測量法。
供參考。
6. 杠桿百分表的表針刮表蒙,怎麼拆急!急!急!謝謝
杠桿百分表的結構形式較多,其拆裝方法和步驟也不盡相同,如下圖:
(1)用螺絲刀挑出彈簧鋼絲3,取下表蒙6、指針8、表盤5。
(2)拆下固定圓彈簧片9的三個螺釘(圖中末繪出),即可取下圓彈簧片和表圈2;取下螺釘4和12,可將托座11連同中心齒輪34、游絲7以及托座上的蓋板一同取下。如需凋整或拆下游絲時。可將托座上的蓋板拆下,取出遊絲和中心齒輪。
(3)拆下三個螺釘28,取下蓋板16,即可取出杠桿齒輪機構和扇形齒輪35。
(4)拆卸杠桿齒輪機構時,先旋下螺釘18,拆下平彈簧片25,沖出樞軸19,這時測桿23和扇形齒輪17即可分開。
(5)拆卸投向機構時,先拆下換向器30,將撥銷31、定價彈簧片32取出。測力彈簧鋼絲29與撥銷鉚接,如不更換換配件可不必拆下。
(6)各軸承與表體為過盈配合,一般不必訴下。最後旋下夾持柄13,杠桿百分表即拆卸完畢。
對於共它結構形式的杠桿百分表,可參照上述方法和順序拆卸。
周期檢修中的杠桿百分表,除大修外,通常不需要全部拆卸,只將需要修理的部分拆下即可。
杠桿百分表的安裝按上述相反的步驟進行。安裝托座或圓座板時,應注意裝配質量,中心齒輪的嚙合必須良好,並應將游絲預緊。
杠桿百分表的一般修理順序為先修表體部分,再修傳動剖分和讀數部分,最後進行裝配。具體修理項目和順序如下:
(1)拆卸和清洗各零部件,並進行外觀修理;
(2)各部分相互作用的修理;
(3)測力和測桿扭力的修理;
(4)示值穩定性的修理;
(5)示值誤差的調整和修理。
7. 電動車窗維修工具與儀器儀表有那些
摘要 一、電瓶工具
8. 量具的游標計量工具
量具是測量零件的尺寸、角度、形狀精度和相互位置精度等所用的測量工具。常用游標量具包括:游標卡尺、深度游標卡尺、高度游標卡尺、千分尺以及百分表等.
游標卡尺
·一種測量長度、內外徑、深度的量具。
·操作方法:
1)測試前用軟布將量爪擦乾凈,使其並攏,查看游標和主尺身的零刻度線是否對齊。若未對其,應根據原始誤差修正測量讀數。
2)測量工件時,右手拿住尺身,大拇指移動游標,左手拿待測物體,使待測物位於外測量爪之間,並與量爪緊緊相貼,然後鎖緊緊固螺釘。
3)讀數:以游標零刻度線為准在尺身上讀取毫米整數,再讀出遊標上第n條刻度線與尺身刻度線對齊,讀出尺寸L=毫米整數部分+n*分度值。
常見量程:
0~100mm、0~150mm、0~300mm、0~500mm常見精度:0.02mm、0.01mm(由游
標上分度格數決定)
·測量對象:深度
·保養:用棉布擦拭、塗油
深度游標卡尺
·用於測量凹槽或孔的深度、梯形工件的梯層高度、長度等尺寸,平常被簡稱為「深度尺」。
·操作方法:
1)測試前用軟布擦凈測量端面,檢查尺框和主尺身的零刻度線是否對齊,若未對其,應根據原始誤差修正測量讀數。
2)測量時先將尺框的測量面貼合在工件被測深部的頂面上,注意不得傾斜,然後將尺身推上去直至尺身測量面與被測深部手感接觸,然後鎖緊緊固螺釘。
3)讀數:以尺框零刻度線為准,讀取毫米整數,再讀出尺框上第n條刻度線與尺身刻度線對齊,讀出尺寸L=毫米整數部分+n*分度值。
·
高度游標卡尺
·用於測量物件高度的卡尺,簡稱高度尺。測量時均勻用力輕推尺框,使尺框的測量面下降至被測工件的頂面上,並使之貼合緊密,然後鎖緊緊固螺釘。
·常見量程:0~300mm、0~500mm
·常見精度:0.02mm、0.01mm(由游標上分度格數決定)
·千分尺
·千分尺又叫螺旋測微器,是一種精密量具,是比游標卡尺更精密的測量長度的工具。
·操作方法:
1)測試前用軟布將測量面擦乾凈,旋轉測微螺桿使之與小砧並攏,查看主尺(固定刻度)和副尺(可動刻度)的零刻度線是否對齊。若未對其,應根據原始誤差修正測量讀數。
2)測量工件時,右手拿住尺身,左手拿待測物體,使待測物體位於測微螺桿和小砧之間,旋轉粗調旋鈕,待測微螺桿靠近被測表面時改用細調旋鈕,當測桿和被測物相接後的壓力達到某一數值時,棘輪將滑動並有咔咔的響聲,此時停止轉動旋鈕,並鎖緊緊固螺釘。
3)讀數:在主尺(固定刻度)上讀取毫米整數(注意0.5毫米的短線是否露出),在副尺(可動刻度)上讀取與主尺橫線對齊的格數n,在第三標尺上讀取與副尺刻度對齊的千分位數值。
L=主尺毫米整數+n*可動刻度分度值+千分位數值
·常見量程:0-25mm、25-50mm、50-75mm、75-100mm
·精度:0.001mm(部分千分尺無第三標尺,精度為0.01mm,千分位為估讀)
·測量對象:長度、外徑
·保養:用棉布擦拭、塗油
百分表
·簡介: 百分表是一種精度較高的比較量具,它只能測出相對數值,不能測出絕對值,主要用於檢測工件的形狀和位置誤差(如圓度、平面度、垂直度、跳動等),也可用於校正零件的安裝位置以及測量零件的內徑等。
·操作方法
1)測量前檢查測量桿活動是否靈活:輕推測量桿時,測量桿在套筒內移動靈活,鬆手後指針能回到原來的刻度位置。
2)將百分表裝夾在固定表座上,使測量桿垂直於被測平面並與之緊密接觸(測量圓形工件時使測量桿與工件中心線垂直),旋轉外表盤使大指針與外表盤零刻度線對齊,在水平台上均勻移動被測工件直至測量頭與被測要素全部接觸(測量圓形工件時使工件以中心軸線為基準旋轉一周)。
3)讀數:先讀取小指針轉過的刻度線(毫米整數),再讀取大指針轉過的刻度線(第n格)。 相對測量數值=小指針毫米整數+n*大表盤精度
·常見量程:0~5mm
·常見精度:0.01mm
·測量對象:形狀和位置誤差如圓度、圓跳動、平面度、平行度、直線度 量具量儀中英文對照匯總
1.刀口型直尺:knife straigjht edge
2.刀口尺: knife straigjht edge
3.三棱尺three edges straigjht edge
4.四棱尺four edges straigjht edge
5.條式和框式水平儀bar form and square levels
6.合像水平儀imaging level meter
7鑄鐵平板cast iron surface plate
8.岩石平板granite surface plate
9.鑄鐵平尺cast iron straigjht edge
10.鋼平尺和岩石平尺steel and granite straigjht edge11.圓度儀roundness measuring instrument
12.電子水平儀electronic level meter
13.表面粗糙度比較樣塊鑄造表面roughness comparison specimens cast surface
14.表面粗糙度比較樣塊磨、車、銑、插及刨加工表面roughness comparison specimens-ground,turned,bored,milled,shape and planed
15.表面粗糙度比較樣塊電火花加工表面roughness comparison specimens spark-erostion machining surfaces
16.表面粗糙度比較樣塊拋光加工表面roughness comparison specimens pollshed surfaces
17.接觸式儀器的標稱特性
18.輪廓profiles 19.軌跡輪廓traced profile
20.基準輪廓reference profile
21.總輪廓total profile
22.原始輪廓primary profile
23.殘余輪廓resial profile
24.觸針式儀器stylus instrument
25.感應位移數字存儲觸針式量儀displacement sensitive,digitally storing stylus instrument
26.觸針式儀器的部件stylus instrument components
27.測量環measurement loop
28.導向基準renfence guide
29.驅動器drive unit
30.測頭(感測器) probe(pick-up) 31.拾取單元tracing element
32.針尖stylus tip
33.轉換器transcer
34.放大器amplifier
35.模/數轉換器analog-to-digital converter
36.數據輸入data input
37.數據輸出data output
38.輪廓濾波和評定profile filtering and evaluation
39.輪廓記錄器profile recorder
40.儀器的計量特性metrological characteristics of the instrument
41.靜測力的變化change of static measuring force
42.靜態測力static measuring force
43.動態測量力dynamic measuring force
44.滯後hysteresis 45.測頭的測量范圍transmission function for the sine waves
46.儀器的測量范圍measuring range of the instrument
47.模數轉換器的量化步距quantization step of the ADC
48.儀器分辨力instrument resolution
49.量程分辨力比range-to-resolution ratio
50.測頭線性偏差probe linearity deviation
51.短波傳輸界限short-wave transmission limitation
52.輪廓垂直成分傳輸vertical profile component transmission1
53表面粗糙度比較樣塊拋丸、噴砂加工表面roughness comparison specimens shot blasted and blasted surfaces
54產品結構幾何量計術規范(GPS)geometrical proct specifications(GPS)
55表面結構surface texture
56接觸式儀器的標稱特性nominal characteristics of contact instruments
57公法線千分尺micrometer for mearsuring root tangent lenghths of gear teeth
58最大允許誤差maximum permissible error
59圓柱直齒漸開線花鍵量規gauges for straight cylindrical involute splines 60齒厚游標卡尺Gear tooth vernier calipers
61齒輪漸開線樣板the involute master of gear
62齒輪螺旋線樣板the helix master of gear
63矩形花鍵量規gauges for straight–sided splines
64測量蝸桿master worm
65萬能測齒儀universal gear measuring instrument
66萬能漸開線檢查儀universal involute measuring instrument
67齒輪齒距測量儀gear circular pictchmeasuring instrument
68萬能齒輪測量機Universal gear measuring machine
69齒輪螺旋線測量儀gear helix measuring instrument
70攜帶型齒輪齒距測量儀manual gear circular pitch measuring instrument
71攜帶型齒輪基節測量儀manual gear base pitch measuring instrument
72立式滾刀測量儀vertical hob measuring instrument
73齒輪雙面嚙合綜合測量儀Gear al-flank measuring instrument
74齒輪單面嚙合整體誤差測量儀Gear single-flank meshing integrated error measuring instrument
75梯形螺紋量規gauges for metric trapezoidal screw threads
76工作螺紋量規work gauges for metric trapezoidal screw threads
77校對螺紋量規check gauges for metric trapezoidal screw threads
78.梯形螺紋量規型式與尺寸Types and dimensions of metric trapezoidal screw threads
79.普通螺紋量規型式與尺寸Types and dimensions of gauges purpose screw threads
80.非螺紋密封的管螺紋量規Gauges for pipe threads prcessure-tight joints are not made on the threads
81.螺紋千分尺Screw thread micrometer
82.最大允許誤差maximum permissible error
83.間隙螺紋量規Clearance screw gauge
84.量針Bar gauge
85.螺紋樣板Screw thread template
86.用螺紋密封的管螺紋量規Gauges for pipe threads where pressure-tight joints are made on the threads 87.刀具預調測量儀精度Accuracy of the presetting instrument
88.薄膜式氣動量儀Membrane type pneumatic measuring instrument
89.光柵線位移測量系統Grating linear displacement measuring system
90.光柵角位移測量系統Grating angular displacement measuring system
91.磁柵線位移測量系統Magnet-grid linear displacement measuring system
92.量塊附件Accessories for gauge blocks
93.V形架Vee blocks
94.比較儀座Comparator stand
95.磁性表座Magnetic stand
96.萬能表座Universal stand for dial indicator 量具各類標准參考
術語及方法
1 GB/T 17163-1997幾何量測量器具術語基本術語
2 GB/T 17163-1997幾何量測量器具術語產品術語
3 JB/T 7976-1999輪廓法測量表面粗糙度的儀器術語
4 JB/T 8372-1996幾何量測量儀器型號編制方法
長度測量器具
5 GB/T 1957-1981光滑極限量規
6 GB/T 6093-2001幾何量技術規范(GPS)長度標准量塊
7 GB/T 6322-1986光滑極限量規型式與尺寸
8 GB/T 9056-2004金屬制直尺
9 徑樣板 JB/T 7980-1995
10 JB/T 8788-1998塞尺 JB/T 8788-1995
11 JB/T 10313-2002量塊檢驗方法
12 GB/T 1214.1-1996游標類卡尺通用技術條件
13 GB/T 1214.2-1996游標類卡尺游標卡尺
14 GB/T 1214.3-1996游標類卡尺高度游標卡尺
15 GB/T 1214.4-1996游標類卡尺深度游標卡尺
16 GB/T 6317-1993帶表卡尺
17 GB/T 14899-1994電子數顯卡尺
18JB/T 5608 –1991電子數顯深度卡尺
19JB/T 5609 -1991電子數顯高度卡尺
20JB/T 8370 -1996 游標類卡尺 游標卡尺(測量范圍為 0~1500mm,0~2000mm)
JB 1564-75
21 GB/T 1216-2004外徑千分尺
22 GB/T 1218-2004深度千分尺
23 GB/T 6312-2004壁厚千分尺
24 GB/T 6313-2004尖頭千分尺
25 GB/T 6314-2004三爪內徑千分尺
26 GB/T 8061-2004杠桿千分尺
27 GB/T 8177-2004兩點內徑千分尺
28 GB/T 9058-2004奇數溝千分尺
29 JB/T 2989-1999板厚千分尺
30 JB/T 4166-1999帶計數器千分尺
31 JB/T 6079-1992電子數顯外徑千分尺
32 JB/T 10005-1999小測頭千分尺
33 JB/T 10006-1999內測千分尺
34 JB/T 10007-1999大外徑千分尺(測量范圍為1000~3000mm)
35 JB/T 10032-1999微米千分尺
36 JB/T 10033-1999測微頭
37 GB/T 1219-2000 幾何量技術規范 長度測量器具:指示表 設計及計量技術要求
38 GB/T 4755-2004扭簧比較儀
39 GB/T 6311-2004大量程百分表
40 GB/T 6320-1997杠桿齒輪比較儀
41 GB/T 6321-2004光學扭簧測微計
42 GB/T 8122-2004內徑指示表
43 GB/T 8123-1998杠桿指示表
44 GB/T 18761-2002電子數顯指示表
45 JB/T 3237-1991杠桿卡規
46 JB/T 3712-1998小扭簧比較儀
47 JB/T 5214-1991曲軸量表
48 JB/T 5216-1991硫化機測力表
49 JB/T 6081-1992深度百分表
50 JB/T 7429-1994電子塞規
51 JB/T 8346-1996帶表卡尺指示表
52 JB/T 8499-1996電子柱電感測微儀
53 JB/T 8787-1998峰值電感測微儀
54 JB/T 8790-1998鋼球式內徑百分表
55 JB/T 8791-1998漲簧式內徑百分表
56 JB/T 10014-1999數顯電感測微儀
57 JB/T 10016-1999測厚規
58 JB/T 10017-1999帶表卡規
59 JB/T 10035-1999厚度表
60 JB/T 10036-1999電感式測微儀角度測量器具
61 GB/T 6092-2004直角尺
62 GB/T 6315-1996游標萬能角度尺
63 GB/T 10943-20031:4 圓錐量規
64 GB/T 11852-2003圓錐量規公差與技術條件
65 GB/T 11853-2003莫氏與公制圓錐量規
66 GB/T 11854-20037:24 工具圓錐量規
67 GB/T 11855-2003鑽夾圓錐量規
68 JB/T 3325-1999角度量塊及其附件
69 JB/T 7973-1999正弦規
70JB/T 8789-19981:24 (UG) 圓錐量規
71 JB/T 10015-1999直角尺檢查儀
72 JB/T 10018-1999正多面棱體
73 JB/T 10026-1999帶表萬能角度尺
74 JB/T 10027-1999方形角尺(方箱)
9. 倫茨電機的的連接齒輪怎麼拆解
目前我遇到過兩種情況,解決方式如下;1,這個齒輪如果內孔是空的(能看到軸)的,就加熱後用拉馬拉,但安裝也要加熱裝,多拆幾次間隙大了,只能上鍵,中心螺絲拉緊。2,齒輪內孔是實的(看不到軸),很明顯用拉馬也行不通,我目前採用方式直接把下面車掉,軸加長,齒輪中心打通孔,加鍵,用螺絲拉緊,防脫落。
10. 在機械行業的比較測量法的原理是什麼
利用相對法進行測量的長度測量工具(圖:比較儀),主要由測微儀和比較儀座組成。測量時,先用量塊研合組成與被測基本尺寸相等的量塊組,再用此量塊組使測微儀指針對零,然後換上被測工件,測微儀指針指示的即為被測尺寸的偏差值。按測微儀所採用的放大原理,比較儀可分為機械式比較儀、光學比較儀和電學比較儀3種
機械式比較儀 和百分表和千分表、杠桿齒輪式測微儀或扭簧測微儀等機械式指示表作為放大、指示部件。杠桿齒輪式測微儀的工作原理與百分表和千分表相似。但第1級放大機構是杠桿,其分度值通常為1微米。扭簧測微儀是一種具有無機械摩擦放大機構的指示表(圖 [扭簧測微儀工作原理].它的主要放大元件是一根從中間起一端向右扭曲,另一端向左扭曲的金屬薄片(寬度為0.1毫米左右,厚度為0.005毫米左右),稱為扭簧絲。在它的中間粘有一根直徑約為0.06毫米的空心玻璃絲做的指針。當測桿上下移動時,可動支架把上下位移轉換為左右位移,使扭簧絲縮短或伸長,並帶動指針轉一個角度,從表盤上即可讀出測桿的位移量。扭簧測微儀的靈敏度很高,常見的分度值有1微米、0.5微米、0.2微米和0.1微米幾種,最高可達0.02微米。示值范圍一般為±50個分度值。機械式比較儀常用在車間和計量室測量工件外徑和厚度等。
光學比較儀 利用光學測微儀作為放大指示部件。常見的有立式、卧式和影屏式 3種。①立式光學比較儀:又稱立式光學計,圖3[光學測微儀的光學系統]為光學測微儀的光學系統。它是按自準直原理(見自準直儀)設計的。分劃板位於物鏡焦平面上,平面反射鏡按杠桿原理設置。當測桿上下移動時,平面反射鏡繞支點轉動一個很小角度,由平面反射鏡反射回去的光線,經直角棱鏡後成象在分劃板上的刻度尺象發生偏移。偏移量的大小與測桿移動距離成比例。光學測微儀的分度值為 1微米,示值范圍為0.1毫米。立式光學計適宜在計量室使用,測量范圍為0~180毫米,常用於檢定量塊和光滑量規以及測量工件的外徑、厚度。②卧式光學比較儀:又稱卧式光學計,其工作原理與立式光學計相同,測量范圍為0~500毫米,適用於在計量室測量較大的或在立式光學計上不易定位的工件,如圓盤等,也常利用測孔附件測量孔徑。③影屏式光學比較儀:又稱投影光學計,其光學系統與立式光學計相似,但刻度尺影像經投影放大透鏡放大後成象於影屏上。分度值有1微米、0.2微米等。分度值為 0.2微米的光學系統採用多次反射以增大光學杠桿的放大比。此外,還有用光波干涉法測量的接觸式干涉比較儀,其分度值為0.05微米、0.1微米和0.2微米。